imported>CommonsDelinker: Thay tập tin Absorption_of_glass_and_ITO_glass.svg bằng Tập tin:Absorption_of_glass_and_ITO_glass.jpg (yêu cầu bởi CommonsDelinker với lý do: Replaced fake SVG with JPG version).

2025-09-05T10:52:45Z

Thay tập tin Absorption_of_glass_and_ITO_glass.svg bằng Tập tin:Absorption_of_glass_and_ITO_glass.jpg (yêu cầu bởi CommonsDelinker với lý do: Replaced fake SVG with JPG version).

Trang mới

'''Indi thiếc oxide''' hay '''oxide thiếc indi''' (''Indium tin oxide'', '''ITO''') là [[hợp chất]] của [[indi]], [[thiếc]] và [[oxy]] với tỷ lệ phần trăm khối lượng thành phần mỗi nguyên tố khác nhau. Tùy thuộc vào hàm lượng oxy, ITO có thể là [[gốm]] hoặc [[hợp kim]]. ITO thường được dùng dưới dạng hỗn hợp bão hòa oxy với công thức 74% In, 18% Sn và 8% O theo khối lượng. ITO trong suốt và không màu khi ở dạng dát mỏng, và có màu vàng nhạt và màu xám khi ở dạng khối. Trong vùng hồng ngoại của quang phổ, ITO hoạt động tương tự kim loại.

Indi thiếc oxide là một trong những [[oxide dẫn điện trong suốt]] được sử dụng rộng rãi nhất vì [[Điện trở suất và điện dẫn suất|tính dẫn điện]] và độ trong suốt, dễ dàng dát thành màng mỏng và khả năng chống ẩm của hỗn hợp. Giống như tất cả các màng dẫn điện trong suốt, có sự đánh đổi giữa độ dẫn điện và độ trong suốt, vì nếu tăng độ dày màng và tăng nồng độ [[phần tử mang điện]] thì độ dẫn điện sẽ tăng nhưng độ trong suốt sẽ giảm.

[[Màng mỏng]] ITO thường được phủ trên bề mặt bởi sự [[bốc hơi lắng đọng vật lý]] (''physical vapor deposition'', PVD), thường sử dụng phương pháp [[lắng đọng bay hơi vật lý bằng chùm electron]] (''Electron beam physical vapor deposition'', EBPVD), hoặc các kỹ thuật [[lắng đọng phún xạ]] (''sputter deposition'').

== Chất liệu và tính chất ==
[[Tập tin:Absorption of glass and ITO glass.jpg|nhỏ|353x353px|Độ hấp thụ của thủy tinh (''glass'') và thủy tinh ITO (''ITO glass'').]]
Indi thiếc oxide là một oxide hỗn hợp của [[indi]] và [[thiếc]] có điểm nóng chảy trong khoảng 1526–1926 °C (1800–2200 [[Kelvin|K]], 2800–3500 °F), tùy thuộc vào thành phần. Vật liệu được sử dụng phổ biến nhất là một oxide có thành phần In4Sn. Vật liệu này là [[chất bán dẫn loại n]] có năng lượng vùng cấm (bandgap) lớn, khoảng 4 eV.<ref>{{Chú thích tập san học thuật |last=Gorobtsov |first=Philipp Yu. |last2=Fisenko |first2=Nikita A. |last3=Solovey |first3=Valentin R. |year=2021 |title=Microstructure and local electrophysical properties of sol-gel derived (In2O3-10%SnO2)/V2O5 films |journal=Colloid and Interface Science Communications |volume=43 |page=100452 |doi=10.1016/j.colcom.2021.100452}}</ref> ITO vừa trong suốt đối với ánh sáng nhìn thấy vừa mang tính dẫn điện tương đối. ITO có [[Điện trở suất và điện dẫn suất|điện trở suất]] thấp, ~ 10−4 [[Ohm|Ω]]·cm và một màng mỏng có thể có [[độ truyền quang]] (''transmittance'') lớn hơn 80%.<ref name="Chen-2013">{{Chú thích tập san học thuật |last=Chen |first=Zhangxian |year=2013 |title=Fabrication of Highly Transparent and Conductive Indium–Tin Oxide Thin Films with a High Figure of Merit via Solution Processing |journal=Langmuir |volume=29 |issue=45 |pages=13836–13842 |doi=10.1021/la4033282 |pmid=24117323}}</ref> Các thuộc tính này được sử dụng trong [[màn hình cảm ứng]] như [[điện thoại di động]].

== Ứng dụng ==
[[Tập tin:LHcockpitWindow.jpg|nhỏ|250x250px|Hiện tượng [[nhiễu màng mỏng]] do lớp phủ ITO gây ra trên cửa sổ buồng lái [[Airbus]], được sử dụng để làm tan băng.]]
ITO là một vật liệu quang điện tử được ứng dụng rộng rãi trong cả nghiên cứu và công nghiệp. Lớp phủ có nhiều ứng dụng, chẳng hạn như làm màn hình phẳng, cửa sổ thông minh, thiết bị điện tử dạng polymer, quang điện màng mỏng, cửa kính của tủ đông siêu thị và cửa sổ.<ref name="j1">{{Chú thích tập san học thuật |last=Kim |first=H. |last2=Gilmore |first2=C. M. |last3=Piqué |first3=A. |last4=Horwitz |first4=J. S. |last5=Mattoussi |first5=H. |author-link5=Hedi Mattoussi |last6=Murata |first6=H. |last7=Kafafi |first7=Z. H. |last8=Chrisey |first8=D. B. |date=December 1999 |title=Electrical, optical, and structural properties of indium–tin–oxide thin films for organic light-emitting devices |journal=Journal of Applied Physics |volume=86 |issue=11 |pages=6451–6461 |bibcode=1999JAP....86.6451K |doi=10.1063/1.371708}}</ref>

ITO cũng được sử dụng cho các [[lớp phủ quang học]] khác nhau, đáng chú ý nhất là lớp phủ phản xạ [[tia hồng ngoại]] cho ô tô và kính [[đèn hơi natri]]. Các ứng dụng khác gồm [[cảm biến khí]],<ref>{{Chú thích tập san học thuật |last=Mokrushin |first=Artem S. |last2=Fisenko |first2=Nikita A. |last3=Gorobtsov |first3=Philipp Yu |last4=Simonenko |first4=Tatiana L. |last5=Glumov |first5=Oleg V. |last6=Melnikova |first6=Natalia A. |last7=Simonenko |first7=Nikolay P. |last8=Bukunov |first8=Kirill A. |last9=Simonenko |first9=Elizaveta P. |last10=Sevastyanov |first10=Vladimir G. |last11=Kuznetsov |first11=Nikolay T. |date=2021-01-01 |title=Pen plotter printing of ITO thin film as a highly CO sensitive component of a resistive gas sensor |url=http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0039914020307463 |journal=Talanta |language=en |volume=221 |pages=121455 |doi=10.1016/j.talanta.2020.121455 |issn=0039-9140 |pmid=33076078}}</ref> [[lớp phủ chống phản xạ]], [[điện ẩm]] (''electrowetting'') và [[bộ kích quang phản xạ Bragg phân bố]] (''distributed bragg reflector laser'') cho laser phát ra bề mặt khoang dọc (''Vertical-cavity surface-emitting laser'', VCSEL). ITO cũng được sử dụng làm phản xạ IR cho kính Low-E (một dòng kính tiết kiệm năng lượng). ITO cũng được sử dụng làm lớp phủ cảm biến trong máy ảnh [[Kodak DCS]] từ dòng Kodak DCS 520, giúp tăng đáp ứng kênh xanh lam.<ref>[http://www.kodak.com/global/en/service/professional/tib/tib4131.jhtml?pq-path=14567#SEC3 Increasing the Blue Channel Response]. ''Technical Information Bulletin''. kodak.com</ref>

Strain gauge (tạm dịch là: [[Máy đo sức căng|máy đo biến dạng]]) làm từ màng mỏng ITO có thể hoạt động ở nhiệt độ lên đến 1400 °C và được sử dụng trong môi trường khắc nghiệt, chẳng hạn như [[Động cơ tuốc bin khí|tuabin khí]], [[Động cơ phản lực không khí|động cơ phản lực]] và [[động cơ tên lửa]].<ref>{{Chú thích luận văn|last=Luo|first=Qing|title=Indium tin oxide thin film strain gages for use at elevated temperatures|date=1 January 2001|url=https://digitalcommons.uri.edu/dissertations/AAI3025561}} {{Webarchive|url=https://web.archive.org/web/20191102170845/https://digitalcommons.uri.edu/dissertations/AAI3025561/ |date=2019-11-02 }}</ref>

== Phương pháp tổng hợp thay thế và vật liệu thay thế ==
Do chi phí cao và nguồn cung cấp indi còn hạn chế, do tính dễ vỡ và thiếu tính linh hoạt của màng ITO, và do để lắng đọng được màng ITO đòi hỏi môi trường chân không khá tốn kém, các phương pháp điều chế ITO và các vật liệu thay thế đang được nghiên cứu.<ref name="Fortunato 2007 242–247">{{Chú thích tập san học thuật |last=Fortunato |first=E. |last2=D. Ginley |last3=H. Hosono |last4=D.C. Paine |date=March 2007 |title=Transparent Conducting Oxides for Photovoltaics |url=https://semanticscholar.org/paper/ae5e391b63e58873044863bd095b1462edcf1552 |journal=MRS Bulletin |volume=32 |issue=3 |pages=242–247 |doi=10.1557/mrs2007.29}}</ref> Kẽm oxide được pha tạp với các nguyên tố khác nhau là ứng cử viên tiềm năng cho vật liệu thay thế ITO.<ref>{{Chú thích tập san học thuật |last=Akhmedov |first=Akhmed |last2=Abduev |first2=Aslan |last3=Murliev |first3=Eldar |last4=Asvarov |first4=Abil |last5=Muslimov |first5=Arsen |last6=Kanevsky |first6=Vladimir |date=January 2021 |title=The ZnO-In2O3 Oxide System as a Material for Low-Temperature Deposition of Transparent Electrodes |journal=Materials |language=en |volume=14 |issue=22 |pages=6859 |bibcode=2021Mate...14.6859A |doi=10.3390/ma14226859 |issn=1996-1944 |pmc=8618142 |pmid=34832261 |doi-access=free}}</ref>

=== Các hợp chất pha tạp ===
Một số chất pha tạp kim loại chuyển tiếp trong indi oxide, đặc biệt là molybden, cho độ linh động electron và độ dẫn điện cao hơn nhiều so với thiếc.<ref name="Swallow 2019">{{Chú thích tập san học thuật |last=Swallow |first=Jack E. N. |last2=Williamson |first2=Benjamin A. D. |last3=Sathasivam |first3=Sanjayan |last4=Birkett |first4=Max |last5=Featherstone |first5=Thomas J. |last6=Murgatroyd |first6=Philip A. E. |last7=Edwards |first7=Holly J. |last8=Lebens-Higgins |first8=Zachary W. |last9=Duncan |first9=David A. |last10=Farnworth |first10=Mark |last11=Warren |first11=Paul |date=2019 |title=Resonant doping for high mobility transparent conductors: the case of Mo-doped In2O3 |journal=Materials Horizons |volume=7 |pages=236–243 |doi=10.1039/c9mh01014a |doi-access=free}}</ref> Các hợp chất pha tạp 2 nguyên tố như [[kẽm oxide]] pha tạp với nhôm (aluminum-doped zinc oxide, AZO) và [[cadmi(II) oxide]] pha tạp indium đã được đề xuất làm vật liệu thay thế. Các chất thay thế vô cơ khác gồm [[nhôm]], [[gali]] hoặc kẽm oxide pha tạp indi (AZO, GZO hoặc IZO).

=== Ống nano carbon ===
Các lớp phủ dẫn điện làm từ [[ống nano carbon]] là một vật liệu thay thế trong tương lai.<ref>{{Chú thích báo|date=11 April 2011|title=Researchers find replacement for rare material indium tin oxide|work=R&D Magazine|publisher=Advantage Business Media|format=online|url=http://www.rdmag.com/News/2011/04/Materials-Researchers-find-replacement-for-rare-material-indium-tin-oxid/|access-date=11 April 2011}}</ref><ref>{{Chú thích tập san học thuật |last=Kyrylyuk |first=Andriy V. |last2=Hermant |first2=Marie Claire |last3=Schilling |first3=Tanja |last4=Klumperman |first4=Bert |last5=Koning |first5=Cor E. |last6=van der Schoot |first6=Paul |date=10 April 2011 |title=Controlling electrical percolation in multicomponent carbon nanotube dispersions |journal=Nature Nanotechnology |volume=6 |issue=6 |pages=364–369 |bibcode=2011NatNa...6..364K |doi=10.1038/nnano.2011.40 |pmid=21478868}}</ref>

=== Graphen ===
Là một chất thay thế dựa trên carbon khác, màng [[graphen]] rất linh hoạt và đã được chứng minh là cho phép độ trong suốt lên đến 90% với điện trở thấp hơn ITO.<ref>{{Chú thích báo|last=ServiceJun. 20|first=Robert F.|date=20 June 2010|title=Graphene Finally Goes Big|work=Science|publisher=AAAS|url=https://www.science.org/content/article/graphene-finally-goes-big}}</ref> Màng kim loại mỏng cũng được xem như một vật liệu thay thế tiềm năng. Một giải pháp thay thế vật liệu hybrid hiện đang được thử nghiệm là dùng điện cực làm bằng [[dây nano]] [[bạc]] phủ [[graphen]]. Vật liệu này có ưu điểm là duy trì độ trong suốt đồng thời vẫn giữ được tính dẫn điện và tính dẻo.<ref>{{Chú thích tập san học thuật |last=Chen |first=Ruiyi |last2=Das |first2=Suprem R. |last3=Jeong |first3=Changwook |last4=Khan |first4=Mohammad Ryyan |last5=Janes |first5=David B. |last6=Alam |first6=Muhammad A. |date=6 November 2013 |title=Co-Percolating Graphene-Wrapped Silver Nanowire Network for High Performance, Highly Stable, Transparent Conducting Electrodes |journal=Advanced Functional Materials |volume=23 |issue=41 |pages=5150–5158 |doi=10.1002/adfm.201300124}}</ref>

=== Polymer dẫn điện ===
[[Polymer dẫn điện]] (ICP) cũng đang được phát triển phục vụ một số ứng dụng ITO.<ref>{{Chú thích tập san học thuật |last=Xia |first=Yijie |last2=Sun |first2=Kuan |last3=Ouyang |first3=Jianyong |date=8 May 2012 |title=Solution-Processed Metallic Conducting Polymer Films as Transparent Electrode of Optoelectronic Devices |journal=Advanced Materials |volume=24 |issue=18 |pages=2436–2440 |doi=10.1002/adma.201104795 |pmid=22488584}}</ref><ref>{{Chú thích tập san học thuật |last=Saghaei |first=Jaber |last2=Fallahzadeh |first2=Ali |last3=Saghaei |first3=Tayebeh |date=September 2015 |title=ITO-free organic solar cells using highly conductive phenol-treated PEDOT:PSS anodes |journal=Organic Electronics |volume=24 |pages=188–194 |doi=10.1016/j.orgel.2015.06.002}}</ref>

=== Indi-kẽm oxide vô định hình ===
Để giảm hàm lượng indi và cải thiện tính đồng nhất về điện, các oxide dẫn điện trong suốt vô định hình đã được phát triển. Một trong những vật liệu như vậy là indi-kẽm oxide vô định hình duy trì trật tự mạng tinh thể ngay cả khi [[Kết tinh|quá trình kết tinh]] bị gián đoạn bởi sự khác biệt về tỷ lệ oxy/kim loại giữa In2O3 và ZnO. Indi-kẽm oxide có một số tính chất tương đương với ITO.<ref>{{Chú thích tập san học thuật |last=Ito |first=N. |last2=Sato |first2=Y. |last3=Song |first3=P.K. |last4=Kaijio |first4=A. |last5=Inoue |first5=K. |last6=Shigesato |first6=Y. |date=February 2006 |title=Electrical and optical properties of amorphous indium zinc oxide films |journal=Thin Solid Films |volume=496 |issue=1 |pages=99–103 |bibcode=2006TSF...496...99I |doi=10.1016/j.tsf.2005.08.257}}</ref> Cấu trúc vô định hình vẫn ổn định thậm chí lên đến 500 °C, cho phép thực hiện các bước xử lý quan trọng trong sản xuất [[pin mặt trời hữu cơ]].<ref name="Fortunato 2007 242–2472">{{Chú thích tập san học thuật |last=Fortunato |first=E. |last2=D. Ginley |last3=H. Hosono |last4=D.C. Paine |date=March 2007 |title=Transparent Conducting Oxides for Photovoltaics |url=https://semanticscholar.org/paper/ae5e391b63e58873044863bd095b1462edcf1552 |journal=MRS Bulletin |volume=32 |issue=3 |pages=242–247 |doi=10.1557/mrs2007.29}}</ref><ref>{{Chú thích tập san học thuật |last=Irwin |first=Michael D. |last2=Liu |first2=Jun |last3=Leever |first3=Benjamin J. |last4=Servaites |first4=Jonathan D. |last5=Hersam |first5=Mark C. |last6=Durstock |first6=Michael F. |last7=Marks |first7=Tobin J. |date=16 February 2010 |title=Consequences of Anode Interfacial Layer Deletion. HCl-Treated ITO in P3HT:PCBM-Based Bulk-Heterojunction Organic Photovoltaic Devices |url=https://semanticscholar.org/paper/20b10d86d5e2813e25b804c8950f7236f73a0522 |journal=Langmuir |volume=26 |issue=4 |pages=2584–2591 |doi=10.1021/la902879h |pmid=20014804}}</ref>

=== Lai hạt nano bạc với ITO (Silver nanoparticle–ITO hybrid) ===
[[Tập tin:Fig_1._Hybrid_ITO_Synthesis.jpg|nhỏ|Quy trình đưa [[hạt nano bạc]] (AgNP) vào chất nền polymer ([[Polyethylen terephthalat|PET]])]]
ITO đã được sử dụng phổ biến như một chất nền chất lượng cao để sản xuất các thiết bị điện tử linh hoạt.<ref>{{Chú thích tập san học thuật |last=Lu |first=Nanshu |last2=Lu |first2=Chi |last3=Yang |first3=Shixuan |last4=Rogers |first4=John |date=10 October 2012 |title=Highly Sensitive Skin-Mountable Strain Gauges Based Entirely on Elastomers |url=https://semanticscholar.org/paper/dbda266b3e4ddbed68962fa3be54b1978d6c8b33 |journal=Advanced Functional Materials |volume=22 |issue=19 |pages=4044–4050 |doi=10.1002/adfm.201200498}}</ref> Tuy nhiên, tính linh hoạt của chất nền này giảm khi độ dẫn điện tăng. Nghiên cứu trước đây đã chỉ ra rằng các đặc tính cơ học của ITO có thể được cải thiện thông qua việc tăng mức [[khả năng kết tinh]].<ref>{{Chú thích tập san học thuật |last=Kim |first=Eun-Hye |last2=Yang |first2=Chan-Woo |last3=Park |first3=Jin-Woo |date=15 February 2011 |title=The crystallinity and mechanical properties of indium tin oxide coatings on polymer substrates |journal=Journal of Applied Physics |volume=109 |issue=4 |pages=043511–043511–8 |bibcode=2011JAP...109d3511K |doi=10.1063/1.3556452}}</ref> Pha bạc (Ag) vào ITO có thể cải thiện tính chất này, nhưng làm mất tính trong suốt.<ref>{{Chú thích tập san học thuật |last=Yang |first=Chan-Woo |last2=Park |first2=Jin-Woo |date=May 2010 |title=The cohesive crack and buckle delamination resistances of indium tin oxide (ITO) films on polymeric substrates with ductile metal interlayers |journal=Surface and Coatings Technology |volume=204 |issue=16–17 |pages=2761–2766 |doi=10.1016/j.surfcoat.2010.02.033}}</ref> Một phương pháp cải tiến là nhúng [[Hạt nano|các hạt nano]] bạc (AgNPs) thay vì để ở dạng đồng nhất để tạo ra ITO dạng lai (hybrid). Dạng này được chứng minh là có hiệu quả trong việc bù đắp cho sự giảm độ trong suốt.<ref>{{Chú thích tập san học thuật |last=Triambulo |first=Ross E. |last2=Kim |first2=Jung-Hoon |last3=Na |first3=Min-Young |last4=Chang |first4=Hye-Jung |last5=Park |first5=Jin-Woo |date=17 June 2013 |title=Highly flexible, hybrid-structured indium tin oxides for transparent electrodes on polymer substrates |journal=Applied Physics Letters |volume=102 |issue=24 |pages=241913 |bibcode=2013ApPhL.102x1913T |doi=10.1063/1.4812187}}</ref>

== Lợi ích ==
[[Tập tin:44665-11.png|nhỏ|Hình thái bề mặt thay đổi trong Al:ZnO và i-/Al:ZnO khi tiếp xúc với nhiệt ẩm (DH) ([[Đo giao thoa|phép đo giao thoa quang học]])<ref name="dampheat">{{Chú thích web|url=http://www.nrel.gov/docs/fy09osti/44665.pdf|tựa đề=Stability Issues of Transparent Conducting Oxides (TCOs) for Thin-Film Photovoltaics|tác giả=Pern, John|ngày=December 2008|nhà xuất bản=U.S. National Renewable Energy Laboratory}}</ref>]]
Ưu điểm chính của ITO so với AZO trong việc làm chất dẫn trong suốt cho [[Màn hình tinh thể lỏng|tinh thể lỏng]] là ITO có thể được khắc chính xác thành hình thù đẹp.<ref name="Ginley">{{Chú thích sách|url=https://books.google.com/books?id=K0qjBlrAGYsC&pg=PA524|title=Handbook of Transparent Conductors|last=David Ginley|date=11 September 2010|publisher=Springer Science & Business Media|isbn=978-1-4419-1638-9|pages=524–}}</ref> AZO không thể được khắc một cách chính xác vì AZO nhạy cảm với acid nên nó có xu hướng bị ăn mòn quá mức khi xử lý bằng acid.<ref name="Ginley" />

Một lợi ích khác của ITO so với AZO là nếu hơi ẩm xâm nhập, ITO sẽ phân huỷ ít hơn AZO.<ref name="dampheat2">{{Chú thích web|url=http://www.nrel.gov/docs/fy09osti/44665.pdf|tựa đề=Stability Issues of Transparent Conducting Oxides (TCOs) for Thin-Film Photovoltaics|tác giả=Pern, John|ngày=December 2008|nhà xuất bản=U.S. National Renewable Energy Laboratory}}</ref>

Kính ITO có thể kéo dãn một cách dễ dàng khi nuôi cấy tế bào, điều này mở ra cơ hội mới cho các nghiên cứu về tế bào đang phát triển liên quan đến [[kính hiển vi điện tử]] và ánh sáng tương quan.<ref>{{Chú thích tập san học thuật |last=Pluk |first=H. |last2=Stokes |first2=D.J. |last3=Lich |first3=B. |last4=Wieringa |first4=B. |last5=Fransen |first5=J. |date=March 2009 |title=Advantages of indium-tin oxide-coated glass slides in correlative scanning electron microscopy applications of uncoated cultured cells |journal=Journal of Microscopy |volume=233 |issue=3 |pages=353–363 |doi=10.1111/j.1365-2818.2009.03140.x |pmid=19250456}}</ref>

== Một số nghiên cứu ==
Trong công nghệ nano, ITO mở đường cho thế hệ pin mặt trời mới. Các tế bào năng lượng mặt trời được tạo ra từ các thiết bị này có giá rẻ, siêu nhẹ và linh hoạt với nhiều ứng dụng. Điều chỉnh kích thước của các thanh nano có thể hấp thụ ánh sáng trong một dải màu hẹp cụ thể. Bằng cách xếp chồng một số tế bào với các thanh có kích thước khác nhau có thể hấp thu một loạt các bước sóng trên quang phổ mặt trời chuyển đổi thành năng lượng. Hơn nữa, nhờ có khối lượng ở cấp độ nano của các thanh nano mà đã làm giảm đáng kể lượng vật liệu bán dẫn cần thiết so với một tế bào bán dẫn thông thường.<ref>{{Chú thích web|url=http://www.nano.gov/html/res/fy04-pdf/fy04%20-%20small%20parts/NNI_FY04_R_mode2_part8.pdf|tựa đề=Energy Conversion and Storage: New Materials and Processes for Energy Needs|tác giả=National Nanotechnology Initiative|url lưu trữ=https://web.archive.org/web/20090512004243/http://www.nano.gov/html/res/fy04-pdf/fy04%20-%20small%20parts/NNI_FY04_R_mode2_part8.pdf|ngày lưu trữ=May 12, 2009|url-status=dead}}</ref><ref>{{Chú thích web|url=http://nano.gov/sites/default/files/pub_resource/nni04_budget_supplement.pdf|tựa đề=National Nanotechnology Initiative Research and Development Supporting the next Industrial Revolution|website=nano.gov|trang=29}}</ref> Các nghiên cứu gần đây đã chứng minh rằng ITO có cấu trúc nano có thể hoạt động như một tụ quang (''photocapacitor'') thu nhỏ, có khả năng hấp thụ và lưu trữ năng lượng ánh sáng.<ref>{{Chú thích tập san học thuật |last=Ghini |first=Michele |last2=Curreli |first2=Nicola |last3=Camellini |first3=Andrea |last4=Wang |first4=Mengjiao |last5=Asaithambi |first5=Aswin |last6=Kriegel |first6=Ilka |date=2021 |title=Photodoping of metal oxide nanocrystals for multi-charge accumulation and light-driven energy storage |journal=Nanoscale |volume=13 |issue=19 |pages=8773–8783 |doi=10.1039/d0nr09163d |pmc=8136238 |pmid=33959732}}</ref>

== Sức khỏe và sự an toàn ==
Nên tránh hít phải indi thiếc oxide vì có thể gây kích ứng nhẹ [[đường hô hấp]]. Nếu tiếp xúc lâu dài, các triệu chứng có thể trở thành mãn tính và dẫn đến [[bệnh bụi phổi]] lành tính. Các nghiên cứu trên động vật chỉ ra rằng ăn phải indi thiếc oxide rất độc, ảnh hưởng xấu tới thận, phổi và tim.<ref>{{Chú thích tập san học thuật |last=Hosono |first=Hideo |last2=Kurita |first2=Masaaki |last3=Kawazoe |first3=Hiroshi |date=1 October 1998 |title=Excimer Laser Crystallization of Amorphous Indium-Tin-Oxide and Its Application to Fine Patterning |journal=Japanese Journal of Applied Physics |volume=37 |issue=Part 2, No. 10A |pages=L1119–L1121 |bibcode=1998JaJAP..37L1119H |doi=10.1143/JJAP.37.L1119}}</ref>

Trong quá trình khai thác, sản xuất và khai hoang, người lao động có khả năng tiếp xúc với indi, đặc biệt là ở các nước như Trung Quốc, Nhật Bản, Hàn Quốc và Canada<ref>POLINARES (EU Policy on Natural Resources, 2012). [https://web.archive.org/web/20160313020355/http://www.polinares.eu/docs/d2-1/polinares_wp2_annex2_factsheet5_v1_10.pdf Fact sheet: Indium]. [last accessed 20 Mar 2013]</ref> và đối mặt với [[bệnh tích protein phế nang]] (''pulmonary alveolar proteinosis''), [[xơ phổi]], [[khí phế thũng]], và [[u hạt]]. Các công nhân ở Mỹ, Trung Quốc và Nhật Bản được chẩn đoán tăng [[cholesterol]] khi tiếp xúc với indi.<ref>{{Chú thích tập san học thuật |last=Cummings |first=Kristin J. |last2=Nakano |first2=Makiko |last3=Omae |first3=Kazuyuki |last4=Takeuchi |first4=Koichiro |last5=Chonan |first5=Tatsuya |last6=Xiao |first6=Yong-long |last7=Harley |first7=Russell A. |last8=Roggli |first8=Victor L. |last9=Hebisawa |first9=Akira |last10=Tallaksen |first10=Robert J. |last11=Trapnell |first11=Bruce C. |date=June 2012 |title=Indium Lung Disease |journal=Chest |volume=141 |issue=6 |pages=1512–1521 |doi=10.1378/chest.11-1880 |pmc=3367484 |pmid=22207675}}</ref> Thí nghiệm [[in vitro]] cho thấy [[hạt nano]] bạc tồn tại trong các ITO cải tiến có thể thâm nhập vào [[Thượng bì|lớp thượng bì]], kích thích [[tế bào T]]. Trong một nghiên cứu tiếp xúc da, nồng độ uITO 5% làm tăng số lượng [[Lympho bào|tế bào lympho]] ở chuột trong khoảng thời gian 10 ngày.<ref>{{Chú thích tập san học thuật |last=Brock |first=Kristie |last2=Anderson |first2=Stacey E. |last3=Lukomska |first3=Ewa |last4=Long |first4=Carrie |last5=Anderson |first5=Katie |last6=Marshall |first6=Nikki |last7=Jean Meade |first7=B. |date=29 October 2013 |title=Immune stimulation following dermal exposure to unsintered indium tin oxide |journal=Journal of Immunotoxicology |volume=11 |issue=3 |pages=268–272 |doi=10.3109/1547691X.2013.843620 |pmc=4652645 |pmid=24164313}}</ref>

Một [[bệnh nghề nghiệp]] mới được gọi là bệnh phổi indi được định nghĩa là bệnh phổi do tiếp xúc với bụi có chứa indi. Bệnh nhân đầu tiên mắc bệnh này là môt công nhân làm việc mài bề mặt ướt của ITO bị [[Bệnh phổi kẽ|viêm phổi kẽ]]: phổi của bệnh nhân chứa đầy các hạt liên quan đến ITO.<ref>{{Chú thích tập san học thuật |last=Homma |first=Toshiaki |last2=Ueno |first2=Takahiro |last3=Sekizawa |first3=Kiyohisa |last4=Tanaka |first4=Akiyo |last5=Hirata |first5=Miyuki |date=4 July 2003 |title=Interstitial Pneumonia Developed in a Worker Dealing with Particles Containing Indium‐tin Oxide |journal=Journal of Occupational Health |volume=45 |issue=3 |pages=137–139 |doi=10.1539/joh.45.137 |pmid=14646287 |doi-access=free}}</ref> Những hạt này kích thích cho phản ứng tiết [[cytokine]] và rối loạn chức năng [[đại thực bào]]. Các hạt ITO [[thiêu kết]] (''sintered ITO'', sTIO) đơn lẻ gây rối loạn chức năng [[thực bào]] nhưng không giải phóng [[cytokine]] trong [[đại thực bào]]; tuy nhiên, chúng gây ra phản ứng [[cytokine]] [[Viêm|tiền viêm]] trong các tế bào [[biểu mô]] [[phổi]]. Không giống như uITO, hạt ITO [[thiêu kết]] có thể mang [[Lipopolysaccharide|nội độc tố]] cho công nhân xử lý quá trình ướt nếu tiếp xúc với chất lỏng chứa nội độc tố. sITO có đường kính lớn hơn và diện tích bề mặt nhỏ hơn, và sự thay đổi sau quá trình [[thiêu kết]] có thể gây [[Độc tính tế bào|độc tế bào]].<ref>{{Chú thích tập san học thuật |last=Badding |first=Melissa A. |last2=Schwegler-Berry |first2=Diane |last3=Park |first3=Ju-Hyeong |last4=Fix |first4=Natalie R. |last5=Cummings |first5=Kristin J. |last6=Leonard |first6=Stephen S. |last7=Ojcius |first7=David M. |date=13 April 2015 |title=Sintered Indium-Tin Oxide Particles Induce Pro-Inflammatory Responses In Vitro, in Part through Inflammasome Activation |journal=PLOS ONE |volume=10 |issue=4 |pages=e0124368 |bibcode=2015PLoSO..1024368B |doi=10.1371/journal.pone.0124368 |pmc=4395338 |pmid=25874458 |doi-access=free}}</ref>

Vì những vấn đề này, cần tìm các vật liệu thay thế cho ITO.<ref>{{Chú thích tập san học thuật |last=Ichiki |first=Akira |last2=Shirasaki |first2=Yuichi |last3=Ito |first3=Tadashi |last4=Sorori |first4=Tadahiro |last5=Kegasawa |first5=Tadahiro |year=2017 |title=タッチパネル用薄型両面センサーフィルム「エクスクリア」の開発 |trans-title=Development of a Thin Double-sided Sensor Film 'EXCLEAR' for Touch Panels via Silver Halide Photographic Technology |journal=Fuji Film Research & Development |language=ja |id={{NAID|40021224398}}}}<templatestyles src="Module:Citation/CS1/styles.css" /></ref><ref>{{Chú thích web|url=https://www.fujifilmholdings.com/en/sustainability/valuePlan2016/process/policy01/environment2016/02.html|tựa đề=Environment: [Topics2] Development of Materials That Solve Environmental Issues EXCLEAR thin double-sided sensor film for touch panels | FUJIFILM Holdings|website=www.fujifilmholdings.com}}</ref>

== Tái chế ==
[[Tập tin:ITO_waste-water_recycling.jpg|nhỏ|Quy trình xử lý nước thải chứa ITO]]
Nước acid dùng trong quá trình [[thiêu kết]] ITO chỉ có thể tái sử dụng trong một số lần giới hạn, sau đó phải xử lý. Sau khi phân huỷ, nước thải vẫn chứa các kim loại có giá trị như In và Cu. Các kim loại như Mo, Cu, Al, Sn và In gây nguy hiểm cho sức khoẻ cho con người.<ref>{{Chú thích tập san học thuật |last=Fowler |first=Bruce A |last2=Yamauchi |first2=Hiroshi |last3=Conner |first3=EA |last4=Akkerman |first4=M |date=1993 |title=Cancer risks for humans from exposure to the semiconductor metals |journal=Scandinavian Journal of Work, Environment & Health |volume=19 |pages=101–103 |jstor=40966384 |pmid=8159952}}</ref><ref>{{Chú thích tập san học thuật |last=Chonan |first=T. |last2=Taguchi |first2=O. |last3=Omae |first3=K. |date=27 September 2006 |title=Interstitial pulmonary disorders in indium-processing workers |journal=European Respiratory Journal |volume=29 |issue=2 |pages=317–324 |doi=10.1183/09031936.00020306 |pmid=17050566 |doi-access=free}}</ref><ref>{{Chú thích tập san học thuật |last=Barceloux |first=Donald G. |last2=Barceloux |first2=Donald |date=6 August 1999 |title=Molybdenum |journal=Journal of Toxicology: Clinical Toxicology |volume=37 |issue=2 |pages=231–237 |doi=10.1081/clt-100102422 |pmid=10382558}}</ref><ref>{{Chú thích tập san học thuật |last=Barceloux |first=Donald G. |last2=Barceloux |first2=Donald |date=6 August 1999 |title=Copper |journal=Journal of Toxicology: Clinical Toxicology |volume=37 |issue=2 |pages=217–230 |doi=10.1081/clt-100102421 |pmid=10382557}}</ref><ref>{{Chú thích tập san học thuật |last=Gupta |first=Umesh C. |last2=Gupta |first2=Subhas C. |date=11 November 2008 |title=Trace element toxicity relationships to crop production and livestock and human health: implications for management |url=https://semanticscholar.org/paper/f99912c46c7ea05724e8aa35a4d031b662a30374 |journal=Communications in Soil Science and Plant Analysis |volume=29 |issue=11–14 |pages=1491–1522 |doi=10.1080/00103629809370045}}</ref><ref>[http://nj.gov/health/eoh/rtkweb/documents/fs/1025.pdf Hazardous substance factsheet]. New Jersey Department of Health and Senior Services.</ref><ref>Lenntech [http://www.lenntech.com/periodic/elements/sn.htm Health effects of tin].</ref><ref>Yokel, R. A. (2014) pp. 116–119 in ''Encyclopedia of the Neurological Sciences'', ed. M. J. Aminoff and R. B. Daroff, Academic Press, Oxford, 2nd ed..</ref>

== Tham khảo ==
{{Tham khảo|2}}

== Liên kết ngoài ==

* [https://archive.today/20121214205349/http://www.ncsu.edu/chemistry/franzen/public_html/sf/ito/index.htm Spectroscopic studies of conducting metal oxides], Slide trình chiếu giới thiệu về ITO
{{Kiểm soát tính nhất quán}}

[[Thể loại:Thiếc]]
[[Thể loại:Oxide]]
[[Thể loại:Công nghệ hiển thị]]
[[Thể loại:Hợp chất indi]]

Indi thiếc oxide - Lịch sử thay đổi

imported>CommonsDelinker: Thay tập tin Absorption_of_glass_and_ITO_glass.svg bằng Tập tin:Absorption_of_glass_and_ITO_glass.jpg (yêu cầu bởi CommonsDelinker với lý do: Replaced fake SVG with JPG version).